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洁净室中的防静电

   洁净室中由于静电引起的的事故屡有发生，因此洁净室的防静电能力如何已成为评价其质量的一个不可忽视的方面。

   所谓静电，是由于摩擦等原因破坏了物体中正(+)负<一）电荷等量的均匀的电中性状态，而使电荷过剩，物体呈带电状态，由于这些电荷平时是不流动的，故称静电。

   在洁净室内静电导致的事故有以下几方面；

   1．静电电引起的静电电击，引起人的不安全和恐惧感，并可造成二次伤害(例如人因受电击而摔倒，由摔倒又致伤)；

   2-静电放电引起的放电电流，可导致诸如半导体元件等破坏和误动作，例如将50块P- MOS电路放在塑料袋内，摇晃数次后，与非门栅极严重击穿者计39块，失效率竞达78%，这是因为半导体器件对静电放电十分灵敏（见表1-21）

   3．静电放电产生的电磁波可导致电子仪器和装置的杂音和误动作

   4．静电放电的发光可导致照像肢片等感光破坏；

   5．静电的力学现象可导致筛孔被粉尘堵塞，纺纱线纷乱，印刷品深浅不均和制品污染；

   6．静电放电引起的最危险的灾害是成为可燃物的火源井引起爆炸，例如国外文献统计，在手术室使用爆炸性麻醉剂的86000次中，爆炸的36次，其中由静电引起的达21次。

   静电事故的产生主要在于静电的产生和积累，而气流的流动，气流和管道、风口、过滤器等摩擦，人体和衣服的摩擦，衣服之间的摩擦，工艺上的研磨，喷涂、射流、洗涤、搅拌、粘合和剥离等操作，所有选些都可能产生静电，在一般情况下，越是电导率小的非导体（绝缘体），由于电荷产生后不易流动，因此表现为越容易带电。

   静电问题所以在洁净室中特别严重，是因为不但在洁净室中具备前述产生静电的多种工艺因素，而且因为洁净室中的许多材料如塑料地面、墙面，尼龙、的确良等工作服都有很高的电阻率，都极易产生静电和集聚静电，在洁净室的静电灾害未被重视以前，这些材料料是被广泛采用的。表1- 22列举了国内两次测定数据。

   表1—23列举在进行超高频晶体管和超高频二极管的各道工序中，操作人员身上的电位

   穿棉工作服时，操作人员身上电位最小(  50—200V)，穿某些合成材料制的服装的操作人员，身上电位在2500 V以上，最高可达10KV以上，而且所有上述这些数值还不是最高值。

   为防址洁净室的静电电击，必须注意静电电击的界限。

   1．人体发生静电电击的界限

   一般情况下人体带静电电位达到3KV以上就产生电击。表l一24列出了人体带电与发生静电电击的关系，此时人体静电容量为90PF，而当人体坐在椅子上或穿薄底鞋时，其  静电容量比100PF大，所以电击电位比表中所列的还要小。

   2．带电物体是导体时，发生静电电击界限。图1-13列出了这一静电电击界限。

   3．带电物体是非导体时，发生静电电击界限。

   带电物体是非导体时，静电电击的带电电位大约为lOkV。

   为了防止对人的静电电击，对人随时都在接触的室内地面的泄漏电阻有一定要求，即为了使人体静电能通过地面尽快泄漏于大地而不发生放电甚至电击，该阻值越小越好，一般根据工作环境性质要求

如表l一25所列。表中电阻值是对已敷设好的地面测得的，不是材料的测定值。