洁净厂房设计规范推荐的换气次数
国际标准IS014644-4曾对微电子行业洁净室给出推荐的换气次数如表4-3所列根据该标准对换气次数应用实例的说明,表中的换气次数是动态下的数值
《洁净厂房设计规范》在编制说明中指出:“洁净室送风量计算所用的敦据是彗照国际体硅IS014644 4中表B、2而编制的。其中,换气次数系根据我国实际情况确定的。”说明所指空气洁净度级别系指静态,所以国标的换气次数是静态的。特别指出“如果设计时业主提出了要按动态进行验收时,则另行处理”。但是始终来明确指明ISO标准是动态标准.
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