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洁净室测试准则
为证明洁净室工作得令人满意,必须证明其满足了下述准则的要求:
1.洁净室的送风量充足,足以稀释或消除室内产生的污染。
2.洁净室内的空气是从洁净区向洁净程度差的区域流动,受污染空气的流动达到最低程度,空气在门口处和室内建筑中的流动方向正确。
3.洁净室的送风不会显著增加室内的污染。
4.室内空气的运动状态可保证密室内没有高浓度聚集区域。
如果洁净室达到了上述这些准则的要求,就可以测量其粒子浓度或微生物浓度(必要时),以确定其达到了规定的洁净室标准。
无尘室洁净度参照标准
ISO 14644 根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)在0.1um~5.0um 范围内呈累积分布的粒子群。根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。
洁净室的测试:
1.送风量与排风量:如果是紊流洁净室,那么就要测量其送风量与排风量。若为单向流洁净室,则要测量其风速。2.各区之间的气流控制:为证明各区之间气流运动方向正确,也就是从洁净区向洁净度差的区域流动,必须检测(1)各区间的压差正确;
(2)门口处或墙、地板等处的开口处气流运动方向正确,即从洁净区向洁净程度差的区域流动。
3.高效空气过滤器检漏:对高效空气过滤器及其外框要进行检验,以保证悬浮污染物不会穿过:
(1)损坏了的高效空气过滤器;
(2)高效空气过滤器与其外框间的缝隙;
(3)高效空气过滤器装置的其他部位而侵入室内。
4.隔离检漏:这项测试是为了证明悬浮污染物不穿过建筑材料侵入洁净室。
5.室内气流控制:气流控制测试的类型要依洁净室的气流模式――是紊流还是单向流而定。若洁净室气流为紊流,则必须验明室内没有气流运行不足的区域。若是单向流洁净室,则必须验明整个室内的风速和风向是符合设计要求的。
6.悬浮粒子浓度和微生物浓度:如果上述这些测试满足要求,则最后对粒子浓度和微生物浓度(需要时)进行测量,以便验明其符合洁净室设计的技术条件。
7.其他测试:除了上述这些污染控制方面的测试以外,有时还必须进行下述一项或若干项测试:
● 温度
● 相对湿度
● 室内加热与冷却容量
● 噪声值
● 光照度
● 振动值
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